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监测项目 |
技术要求 |
监测方法 |
监测频次 |
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温度 |
18 ~28
OC(十万级、三十万级) |
JGJ71-90 |
1 次/班 |
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湿度 |
45 ~65%(十万级、三十万级) |
JGJ71-90 |
1 次/班 |
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换气次数 |
十万级≥15次/小时 |
JGJ71-90 |
1 次/月 |
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三十万级≥12次/小时 |
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静压差 |
≥5Pa(不同洁净级别洁净室(区)之间) |
JGJ71-90 |
1 次/月 |
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≥10Pa(洁净室(区)与室外) |
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≥5Pa(洁净室(区)之间与非洁净室(区)) |
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尘埃粒子 |
≥0.5μm |
≥5μm |
GB/T16292-1996 |
1 次/季 |
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十万级≤3500000个/m3 |
≤20000个/m3 |
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三十万级≤10500000个/m3 |
≤60000个/m3 |
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浮游菌 |
十万级≤500个/m3 |
GB/T16293-1996 |
1 次/季 |
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沉降菌 |
十万级≤10个/皿 |
GB/T16294-1996 |
1 次/周 |
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