附录7

洁净区环境要求及监测

 

监测项目

技术要求

监测方法

监测频次

温度

1828 OC(十万级、三十万级)

JGJ71-90

1/

湿度

4565%(十万级、三十万级)

JGJ71-90

1/

换气次数

十万级≥15次/小时

JGJ71-90

1/

三十万级≥12次/小时

静压差

≥5Pa(不同洁净级别洁净室(区)之间)

JGJ71-90

1/

≥10Pa(洁净室(区)与室外)

≥5Pa(洁净室(区)之间与非洁净室(区))

尘埃粒子

≥0.5μm

≥5μm

GB/T16292-1996

1/

十万级≤3500000个/m3

≤20000个/m3

三十万级≤10500000个/m3

≤60000个/m3

浮游菌

十万级≤500个/m3

GB/T16293-1996

1/

沉降菌

十万级≤10个/皿

GB/T16294-1996

1/